После учреждения Московского патриаршества они стали носить титул митрополитов Крутицких. На Большом Московском соборе предлагалось при всех четырёх тогда митрополичьих кафедрах (Новгородской, Казанской, Ростовской и Сарской и Подонской), а также при Рязанской, которая из архиепископской была преобразована в митрополичью, учредить по одной епископской кафедре, с тем чтобы занимающие их архиереи помогали правящим епископам-митрополитам управлять их епархиями (Деяния Московских Соборов 1666 и 1667 годов. М., 1893). Но этот план не был осуществлён. В 1698 г. патриархом Адрианом (1690–1700 гг.) и царём Петром I Алексеевичем (1689–1725 гг.) было разрешено Киевскому митрополиту Варлааму (Ясинскому) иметь своего «коадъютора» (как и слово «викарий», наименование заимствовано у католической церкви, но в отличие от «викария» в Русской православной церкви не прижилось) – помощника в епископском сане. Решение мотивировалось слабостью здоровья митрополита Варлаама, однако предполагалось, что эта его привилегия перейдёт и к его преемникам. В 1708 г. в Новгородской епархии была учреждена должность викария с титулом епископа Карельского и Ладожского. В синодальную эпоху институт викариев (главных помощников епархиального архиерея в епископском сане) укореняется в Русской церкви. Уже при императрице Екатерине II Алексеевне (1762–1796 гг.) Святейший Синод дозволил всем своим членам иметь викариев. В конце XVIII в. викариаты стали открываться и в епархиях, где в этом была необходимость: при старейших архиереях-митрополитах и в особо крупных епархиях. Однако до середины XIX в. викариатские кафедры существовали в немногих епархиях. Но в 1865 г. императорским указом было дозволено открывать викариаты во всех епархиях, где есть местные средства на их содержание без обременения синодальной, т.е. государственной казны. Во второй половине XIX – начале ХХ в. викариаты были учреждены в большинстве епархий. Викарии титуловались по одному из уездных городов епархии, но за редкими исключениями их резиденция находилась в епархиальном центре, а не в том городе, наименование которого они носили в своём титуле. Они не имели никакой церковно-административной или судебной власти в этом городе, их связь с ним обычно ограничивалась лишь возношением их имени за богослужением в соборном храме города либо также и в других его церквах. Согласно императорскому указу от 13 апреля 1793 г., викарии не имели ни своих кафедральных соборов, ни своих отдельных консисторий. Исключение составляли некоторые викариаты, представлявшие собой выделенную часть епархии, находившуюся под полусамостоятельным управлением викарного епископа. В этом случае резиденция викария располагалась на территории его викариатства, и при нём действовало духовное правление. Такой статус имело Люблинское викариатство в составе Варшавской епархии, пока эта епархия не была разделена на две самостоятельные: Варшавскую и Холмскую, в связи с чем Люблинское викариатство было упразднено. Викарий Иркутской епархии епископ Читинский управлял приходами Забайкальской области, имея резиденцию в своём кафедральном городе. В конце синодальной эпохи существовали и другие полусамостоятельные викариатства, в частности Камчатское и Бакинское. В важнейших епархиях в канун Поместного Собора Православной Российской Церкви 1917–1918 гг. было по несколько викарных епископов: в Санкт-Петербургской и Новгородской – четыре (один из которых состоял по Новгородской, а три других – по Санкт-Петербургской епархии, при общем митрополите юридически это были две епархии, соединённые в административном порядке), в Московской и Киевской – по три викария; ещё несколько епархий (в том числе Тифлисская, Иркутская и Херсонская) имели по два викария. В большинстве же епархий было по одному викарию. Для действий викарных епископов не существовало общих инструкций Святейшего Синода, они выполняли поручения правящих архиереев, которые по своему усмотрению либо возлагали на своих помощников – викариев постоянные обязанности, либо давали им разовые поручения. В обязанности викарных архиереев могло входить посвящение церковнослужителей, или даже священнослужителей, особенно часто в тех уездах, центры которых были городами, которыми они титуловались, но при этом они действовали по поручению епархиального архиерея и не принимали решений о рукоположениях самостоятельно. Кроме того, по усмотрению правящего архиерея их ведению могли вверяться такие отрасли церковного управления, как надзор за церковноприходскими школами, женскими монастырями, свечными заводами, предварительный просмотр консисторских журналов (в отдельных случаях с согласия правящего архиерея) и их утверждение, дела о присоединении инославных к православной церкви, попечение о выдаче освященных антиминсов и святого мира. Во время вакантности епархиальной кафедры указы Святейшего Синода адресовались викарному епископу, если таковой был в епархии.